半导体工业用的气体统称电子气体。按其门类可分为纯气，高纯气和半导体特殊材料气体三大类。特殊材料气体主要用于外延，掺杂和蚀刻工艺；高纯气体主要用作稀释气和运载气。电子气体是特种气体的一个重要分支。电子气体按纯度等级和使用场合，可分为电子级，LSI（大规模集成电路）级，VLSI（超大规模集成电路)级和ULSI(特大规模集成电路）级。

电子气体是发展集成电路、光电子、微电子，特别是超大规模集成电路、液晶显示器件、半导体发光器件和半导体材料制造过程中不可缺少的基础性支撑源材料，它被称为电子工业的“血液”和“粮食”，它的纯度和洁净度直接影响到光电子、微电子元器件的质量、集成度、特定技术指标和成品率，并从根本上制约着电路和器件的精确性和准确性 。

电子气体在半导体工业体系中扮演着至关重要的角色，其作用主要有以下几个方面：

掺杂控制：电子气体可通过不同的掺杂方式（如n型掺杂或p型掺杂）改变半导体材料的电性质，从而调节半导体材料的导电性能。

半导体器件中的电子传输：在半导体器件中，电子气体参与了电流的传输和控制，如在晶体管、二极管等器件中，电子的运动和导电性能直接影响了器件的性能和工作状态。

能带结构：电子气体与半导体材料的能带结构密切相关，电子在半导体能带中的位置决定了材料的导电性质，例如导带中的自由电子导致了半导体的导电性。

光电应用中的激子形成：在光电器件中，电子气体参与了激子的形成过程，激子由电子和空穴组成，对于太阳能电池、LED等器件的性能具有重要影响。

综上所述，电子气体在半导体工业体系中的作用是多方面的，影响着半导体材料的电性质、器件的性能以及光电器件的工作原理，是半导体工业发展中不可或缺的重要因素。